ASTM F951-2002 测定硅片径向晶隙氧变化的标准试验方法
作者:标准资料网
时间:2024-05-19 08:46:19
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【英文标准名称】:StandardTestMethodforDeterminationofRadialInterstitialOxygenVariationinSiliconWafers
【原文标准名称】:测定硅片径向晶隙氧变化的标准试验方法
【标准号】:ASTMF951-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:电子工程;试验;氧;径向
【英文主题词】:infraredtransmission;interstitialoxygen;oxygen;radialvariation;silicon;uniformity;variation
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethodcoverstestsiteselectionanddatareductionproceduresforradialvariationoftheinterstitialoxygenconcentrationinsiliconslicestypicallyusedinthemanu
【中国标准分类号】:L64
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:5P.;A4
【正文语种】:
【原文标准名称】:测定硅片径向晶隙氧变化的标准试验方法
【标准号】:ASTMF951-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:电子工程;试验;氧;径向
【英文主题词】:infraredtransmission;interstitialoxygen;oxygen;radialvariation;silicon;uniformity;variation
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethodcoverstestsiteselectionanddatareductionproceduresforradialvariationoftheinterstitialoxygenconcentrationinsiliconslicestypicallyusedinthemanu
【中国标准分类号】:L64
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:5P.;A4
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